整星/船真空氦质谱检漏系统灵敏度影响分析

摘要

由于目前整星/船总漏率测试所采用的方法灵敏度有限，进行真空氦质谱检漏灵敏度的影响因素分析，有利于提高真空检漏系统灵敏度，对整星/船总漏率测试采用真空氦质谱检漏方法具有重要的指导意义。本文以KM6水平舱空间环境模拟设备作为检漏系统为研究对象，进行了检漏灵敏度理论分析并针对各影响因素进行专项试验研究。研究结果表明，整星船真空检漏灵敏度可高达约5×10-9Pa·m3/s；分子泵串联模式灵敏度略高，低温泵可有效快速地提高系统真空度，但对He本底及其检漏灵敏度又影响；热沉系统对检漏灵敏度影响不大，但不利于He本底的降低；研究结论为整星/船真空氦质谱检漏灵敏度的提高以及真空检漏系统的设计提供了可参考的依据和合理化建议。