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微漏率真空标准漏孔

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本文主要介绍了具有固定氦室的渗氦型微漏率真空标准漏孔。并对其工作原理、核心参数、漏率值及测量不确定度进行了阐述。

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来源
《中国真空学会质谱分析和检漏专委会第十六届年会暨中国计量测试学会真空计量专委会第十一届年会》|2011年|293-295|共3页
会议地点成都
作者
周起春;
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作者单位

中国真空学会;

中国计量测试学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TB774.3;
关键词
真空标准漏孔; 氦质谱检漏仪; 微漏率; 量值溯源; 测量不确定度;

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