便携式真空校准装置的研制

摘要

便携式真空校准装置主要由供气和进样模块、抽气模块、压力衰减模块、压力测量与校准模块、烘烤模块等五部分组成。本文考虑到现场环境对真空计的影响和校准装置易于携带、小型化的要求，设计中采用了模块化分体式结构，复合了静态比较法、动态比较法和压力衰减法等3种真空校准方法。可根据不同的校准需求，选配不同的模块和方法实现对真空计的校准。预计达到的技术指标是，校准范围为10-4Pa～105Pa，合成标准不确定度小于7％。