低温沉积的Ag和Ag-Cu薄膜的耐原子氧性能

摘要

采用多弧离子镀方法在低温(166 K)沉积了Ag和Ag-Cu薄膜，通过地面原子氧模拟试验系统考察了薄膜的耐原子氧性能，通过X射线衍射(XRD)利原子力显微镜(AFM)对薄膜的结构和原子氧效应机理进行了研究。结果表明：与Cu元素合金和低温沉积可明显改善Ag薄膜的结构，进而提高其耐原子氧性能。相对室温沉积的Ag薄膜，低温沉积的Ag-Cu薄膜表现出致密的结构和显著改善的耐原子氧性能。