铜合金化学抛光技术研究进展

摘要

综述了铜合金化学抛光的应用现状及不同工艺中各组分的作用,包括硝酸及硝酸盐体系、过氧化氢体系抛光液,并且介绍了各体系中存在的问题及其解决方案.目前铜合金化学抛光工艺存在着自身制约的地方,本文通过对铜合金不同化学抛光工艺的对比分析,探讨了未来国内外在铜合金抛光的发展方向.绿色环保型处理工艺是当下金属表面处理的发展趋势，并且环境问题逐渐变成制约行业发展的重要问题，为了摆脱这个现状，则需要解决工艺源头带来的环境污染问题，从而实现绿色环保的可持续发展。与绿色环保理念相结合，提高抛光质量以及抛光液的稳定性将是化学抛光液研究的重点。化学-机械抛光(CMP)[25-27]是一种优良的绿色环保抛光工艺，然而其适用范围较窄，不适用于解决大多数铜制件的表面抛光问题。简化其抛光工艺，使其可以被大多数行业接受，将推动金属表面抛光技术的发展。