基于电容检测接口ASIC的闭环微机械加速度计

摘要

对于采用微传感器和接口ASIC两芯片方案来实现的微机械加速度计来说。寄生电容是影响其性能的重要因素之一。本文设计实现了电容检测接口ASIC电路，该电路采用采样电荷结构，具有对寄生电容不敏感的特点，并在标准CMOS工艺下流片实现。基于该电容检测ASIC电路，以梳齿式硅微传感器为敏感元件，采用滞后比例积分调节器，通过力平衡反馈方案设计实现了一种闭环微机械加速度计。实验结果表明:该闭环微加速度计的灵敏度为650mV/g，噪声基底为23.17μ/rt-Hz。