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CO2激光器辐照对氧化锌薄膜结构及性质的影响

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摘要

本文主要研究CO2激光器辐照对室温条件下通过磁控反应溅射沉积的氧化锌薄膜结构及性质上的影响.分别采用X射线衍射仪、分光光度计、荧光光谱仪以及拉曼散射光谱等表征手段对比研究氧化锌薄膜辐照前后结构和光学性质的变化.

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来源
《上海市激光学会2015年学术年会》|2015年|175-176|共2页
会议地点上海
作者
荆铭; 姬佳林; 洪瑞金; 陶春先; 张大伟;
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作者单位

上海市激光学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类特种结构材料;
关键词
氧化锌薄膜; 激光辐照; 结晶质量; 缺陷密度;

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